대기중 산소와 접촉시키지 않고 화학실험을 하거나 방사능 물질에 노출되지 않고 실험하는 장치로 Antechamber, Dry Box(본체) Purifier 크게 세부분으로 구성됨.
Antechamber
Dry Box(본체)
Purifier
진공 중에서 유기물 또는 금속을 가열하여, 그 증발분자를 증기 온도보다 저온의 기판에 부착시키면 표면에서 증기가 응축되어 박막이 형성되어 증착시키는 장비
증착기 구성
집적회로 생산라인 공정에서 많이 쓰이는 진공 증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 이온화된 아르곤 등의 가스를 가속하여 타겟에 충돌시키고, 원자를 분출시켜 웨이퍼나 유리 같은 기판상에 막을 만드는 방법
